微加速度计摆片质量的测量方法研究

摘要：

梳齿式微机械加速度计摆片的质量是影响其性能的重要机械参数,获得实测值十分必要.提出一种基于开环频率响应试验和静态静电力试验求取摆片质量的方法,由加速度计的开环传递函数及摆片的力平衡方程,得到包含摆片质量的方程组,通过求解该方程组得出摆片的实际质量.对具体加速度计的试验结果表明,该方法能准确地估算摆片的实际质量,并能在制造现场使用,不需要特殊的测量环境和仪器设备,是一种简便而有效的试验方法.

关键词：微机械、加速度计、摆片质量、机械参数

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.307;V241.4(半导体技术)

资助基金：国家科技攻关项目41308050103

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：115-118