有源静电轴承的动刚度特性研究

摘要：

针对补偿负刚度后的静电轴承-转子系统模型,讨论了PID控制参数与动刚度特性的关系,为根据刚度指标确定控制参数提供了理论依据.对三自由度静电球轴承的动刚度分析与实验结果表明,系统在低频与高频段具有较高的支承刚度,而中频刚度较低,刚度幅频特性曲线呈"浴盆"状.在系统通频带内,动态刚度主要由控制器参数决定, 而高频刚度主要取决于转子的惯性项.在系统稳定区域,改变控制器参数可以灵活设定系统的动刚度特性.

关键词：静电轴承、动刚度、静电悬浮、PID控制

所属期刊栏目：40

分类号：TH133.3;TN701.17

资助基金：国防基础与应用研究预研基金41309020;河南省高校青年骨干教师资助项目

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34