10.3321/j.issn:0577-6686.2003.11.002
微机电传感器发展及应用的现状与趋势
介绍了微机电传感器自20世纪80年代初期以来发展及应用的现状与趋势.重点讨论了微机电惯性传感器在国际上的先进水平和国内的研究成果,以及军民两用领域的应用前景.最后提出了进一步研究的方向.
微机电系统、微机电传感器、微机电惯性传感器
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TP212.9(自动化技术及设备)
国家微纳米预研基金41308050103,41308050108
2004-02-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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