10.3321/j.issn:0577-6686.2003.06.016
两步压入法--薄膜力学性能的可靠测量方法
提出了采用力学探针测量薄膜力学性能的两步压入法.该方法通过大载荷压入展示基体变形对薄膜硬度的影响,从而选择不影响基体变形的小载荷测出薄膜的硬度和弹性模量.对高速钢基片上的TiN硬质薄膜,单晶硅片上的金属Ni薄膜和(Ti,Al)N/VN纳米多层膜的测量表明,两步压入法能够测出各种性质薄膜的力学性能,并且具有准确可靠的特点.此外,两步法对(Ti,Al)N/VN纳米多层膜的力学性能的测量表明,该体系的纳米多层膜存在硬度和弹性模量异常升高的超硬、超模量效应.
两步压入法、薄膜、纳米多层膜、硬度、弹性模量
39
TG115.5.1;O484(金属学与热处理)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
71-74