用于光电子器件封装的微操作系统

摘要：

介绍了用于光波导与光纤耦合对接的微操作系统的构成,并对该系统的若干关键技术进行了讨论,包括微操作机构设计、系统标定、视觉伺服系统、微光功率检测控制系统、光功率搜索的路径规划以及微流量进给系统等.提出了构筑该系统的注意事项和解决方案.

关键词：微操作、视觉伺服、光波导

所属期刊栏目：38

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：北京市科技新星计划项目H013610190112

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：48-51