振动轮式微机械传感器非线性力学特性的研究

摘要：

用能量法计算了振动轮式微机械角速率传感器中梁的力矩一转角的非线性关系，分析了在这种非线性影响下的传感器幅频、相频特性。试验结果表明在这种微传感器中确实存在非线性振动现象。用推导出的公式得到的计算数据与试验数据吻合得较好。最后提出了减小微结构非线性特性的措施。

关键词：微传感器微机械非线性振动

所属期刊栏目：37

分类号：O322(振动理论)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：78-81