静电场耦合微机电系统的动态模型

摘要：

研究静电场耦合微机电系统(Micro electromechnical systems,简记为MEMS)的动态模型问题.首先,给出了耦合静电场的输入/输出两端点对模型,讨论了微机电系统的独立变量对的选择与分析方法.其次,叙述了所研制的典型微结构,包括SEM照片、有限元分析的振动模态,以及简化模型.第三,分析了MEMS传感器系统的静电场与静电力表达式、动力学方程,以及开环和闭环传递函数.第四,给出了MEMS传感器系统的实测频率特性和等效模型参数,并且根据以上分析和试验结果,提出了几点有重要意义的结论.

关键词：微机电系统、静电场耦合、动态模型

所属期刊栏目：37

分类号：TM3(电机)

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：97-101