不锈钢方轨形靶PIII处理及流体力学模拟*

摘要：

对方轨形AISI304不锈钢靶进行了氮的等离子体浸没离子注入(PI II)处理，试验结果表明，表面硬度明显提高，摩擦学特性也得到显著改善。其中上表面的 改 性效果明显优于侧表面。利用二维流体模型对注入过程中等离子体行为进行了模拟研究，结 果表明：最大的注入剂量发生在上表面的中心区，在侧表面附近由于离子受到底面的竞争吸 引，而使注入的剂量明显低于上表面，因而得到不同的改性效果。

关键词：等离子体浸没离子注入、方轨形靶、流体模拟

所属期刊栏目：36

分类号：TG17244(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58