Design and Fabrication of MEMS Gyroscopes on the Silicon-on-insulator Substrate with Decoupled Oscillation Modes

机标关键词：MEMS

所属期刊栏目：23

资助基金：National Hi-tech Research and Development Program of China863 Program, Grant 2009AA04Z320;Xi”an Municipal Applied Materials Innovation Fund of ChinaGrant XA-AM-200801

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20