SIMPLIFIED SCALING TRANSFORMATION FOR THE NUMERICAL SIMULATION OF MEMS DEVICES WITH THIN FILM STRUCTURES

机标关键词：THIN FILM、microelectromechanical systems、numerical experiments、numerical simulation、numerical results、film performance

所属期刊栏目：21

分类号：O24;O22

资助基金：National Natural Science Foundation of China 60576020, 60606014

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-61