FABRICATION OF DIAMOND TUBES IN BIAS-ENHANCED HOT-FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM

机标关键词：scanning electron microscope、chemical vapor deposition、diamond film、diamond thin films、compressive stress、residual stress、wire Substrate、Raman spectrum、hot filament

所属期刊栏目：20

分类号：TH11

资助基金：Proceedings of the 7th International Conference on Frontiers of Design and ManufacturingICFDM”2006;国家自然科学基金50475026;50275095;50575135

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：24-26