蓝宝石衬底晶圆单片清洗设备研制

摘要：

为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵头、气雾喷头配合伯努力旋转工作台等实现晶圆的清洗.通过样机试验,晶圆表面清洗效果好,无晶圆二次污染及划伤问题,清洗质量满足工艺和使用要求.

关键词：晶圆、取片机械手、定位机构、刷片机构、清洗工作台、清洗箱

分类号：TH122

资助基金：潍坊市科学技术发展计划项目2020GX054

在线出版日期：2023-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：101-102,105