半导体工艺加热管道系统高效设计与装配研究

摘要：

针对目前半导体工艺加热管道系统设计效率低、过程繁琐的问题,通过构件配置库确定管件基础尺寸,利用尺寸驱动法修改自定义特征尺寸实现管件快速设计.采用捕捉设计者装配意图、识取约束元素的自动装配算法实现管道系统高效装配.解决了传统设计过程中管件重复造型及装配过程繁琐所造成的低效率问题,将单个管件的平均设计与装配时间从60 s缩短至15 s.研究结果为后续管道柔性加热器的高效设计打下了坚实基础.

关键词：半导体工艺、管道系统、管道加热器、快速设计、高效装配

分类号：TH122

资助基金：江苏省科技计划项目BE2019093

在线出版日期：2023-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：146-149