单点金刚石飞切技术的纵向纹路形成机理研究及抑制措施

摘要：

单点金刚石飞切技术目前是大口径KDP晶体加工最有效的方法,一次加工即可形成高精度元件表面,但加工后表面存在沿进给方向的纵向纹路,该纹路对元件的光学性能存在明显的影响.文中从纵向纹路的形成机理研究出发,通过调整机床不同部件的接触刚度,使纵向条纹的频率和幅值发生变化,从而提高元件的光学性能.实验结果表明,减小机床横梁与立柱之间的接触刚度时,纵向纹路的周期约为55 mm,幅值约为40 nm,满足了该晶体元件的性能指标.

关键词：纵向纹路、单点金刚石飞切技术、接触刚度、空间周期

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2020-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：150-152