柔性压力传感器的研制

摘要：

为了提高柔性压力传感器的灵敏度和稳定性,对压力传感器结构设计、结构参数及制作工艺进行了研究,并制作了两种传感器样片.测量结果表明,在压电材料相同的情况下,不同的结构、尺寸参数及制作流程对柔性压力传感器的灵敏度、响应时间和循环工作稳定性都有一定的影响.

关键词：柔性压力传感器、结构设计、制作工艺、稳定性、灵敏度

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51375017

在线出版日期：2020-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12