显微式激光多普勒测振系统的开发与应用

摘要：

提出了一种显微式的激光多普勒测振系统.该系统基于激光多普勒测振原理,综合运用激光外差干涉技术和显微缩束技术,结合电路解调功能实现模拟信号的解调,通过数据采集及算法处理,实现振动信号的波形显示及结果分析.通过与BK-4527型传感器的对比试验表明,该显微测振系统可以很好地实现精确测量.同时,该系统可实现对微机电系统的振动测试和位置定位,弥补了传统激光多普勒测振系统无法测量微小物体振动的缺陷,具有良好的应用前景.

关键词：显微激光多普勒测振、微机电系统、激光外差干涉、显微缩束、BK传感器

分类号：O329(振动理论)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ470765;宁波市科技创新团队2013B82005

在线出版日期：2018-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：137-139