10.3969/j.issn.1002-2333.2017.06.013
耐高温合金薄膜压力传感器的设计 及仿真分析
研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义.文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力传感器.通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计.
高温压力传感器、合金薄膜、仿真
TP391.7(计算技术、计算机技术)
北京市优秀人才培养资助青年骨干个人项目2014000020124G063
2017-06-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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