避免超硬nc-(Al1-xTix)N/a-Si3N4纳米复合材料制成的(Al1-xTix)N涂层的高温分解

摘要：

大约单层薄的非晶态氮化硅的组织,是在nc-(Al1-xTix)N/a-Si3N4超硬纳米复合涂层沉积过程中形成的,具有良好的结构与硬度.在温度低于1100℃时,能有效地避免fcc-(Al1-xTix)亚稳溶液的分解和软化,形成富钛fcc(Ti1-δAlδ)N纤锌矿型h-(AlN).如果没有氮化硅涂层,(Al1-xTix)N的软化和分解将会发生在800～900℃之间.

关键词：超硬纳米复合材料、(AlTi)N、热稳定性、旋节线分解

分类号：TB33(工程材料学)

在线出版日期：2017-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：89-90