10.3969/j.issn.1002-2333.2016.09.044
低摆动瞬心式抛光头
针对典型抛光头的结构对加工质量的影响,分析了其结构缺陷,设计了一种新型低摆动瞬心的抛光头.它利用同心双球面滚动副结构,可以使抛光头的摆动瞬心降低到加工平面上,从而彻底消除了因摆动瞬心过高而产生的倾覆力矩对加工质量的影响,试验结果证明这种低摆动瞬心抛光头使用效果良好.
抛光头、平面度、瞬心、CMP
TH122
2016-11-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
107-108
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10.3969/j.issn.1002-2333.2016.09.044
抛光头、平面度、瞬心、CMP
TH122
2016-11-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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