光伏电池片生产中排除扩散炉故障的实验研究

摘要：

在光伏电池片的生产过程中,扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化,常常会出现故障,使扩散后,硅片方块电阻异常波动,致生产线的扩散环节出现很多异常问题,导致PN结质量下降.文中对扩散炉体零器件老化、损坏而导致的方阻异常进行分析,并寻找相应的解决措施,不断提高PN结制造工艺的稳定性.

关键词：扩散炉、方阻、温度、流量计、排风

分类号：TM914

在线出版日期：2015-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：128-129