精密孔径测量仪计量检定方法研究

摘要：

精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准，利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器；主要用于测量内孔直径，还可以用于测量轴径、两平行平面距离及玻璃尺刻线间距等。文中主要研究测量范围为（0～200） mm，分辨力为0.1μm的精密孔径测量仪的检定方法。

关键词：精密孔径测量仪、长光栅、光电瞄准、非接触、绝对测量

分类号：TG88(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：航空科技成果项目1991航技签字262号

在线出版日期：2015-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：159-161,162