10.3969/j.issn.1002-2333.2015.03.018
用于拼接干涉仪的五维运动台测试
高运动精度、高稳定性的多维运动台是拼接干涉仪必不可少的组成部分,因此运动台精度和稳定性直接影响拼接干涉仪的测量精度。通过激光干涉测量系统测量了五维运动台的行程、分辨率。运用频谱实验测量了五维运动台的模态。利用面形测量干涉仪,通过干涉条纹移动测试了五维运动台长时间工作中的漂移,为拼接干涉仪的研制提供了重要依据。
五维运动台、运动精度、模态、漂移、测试
TH744(仪器、仪表)
2015-03-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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