显影单元腔室内流场结构分析与优化

摘要：

匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成Down Flow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染.由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态.文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期.

关键词：温湿度控制器、FILTER、CUP、Down Flow

分类号：TP391.7(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家科技重大专项2012ZX02102-006

在线出版日期：2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：131-133