MEMS器件自动贴片机的研究与设计

摘要：

为能够实现MEMS器件生产的自动化、柔性化、高速化,研究和设计具有飞行视觉系统的贴片机.该贴片机能够自动找寻器件基准图像信息,在飞行中自动捕获拾取芯片位置的图像信息,求取特征点的XY坐标及角度坐标,并根据计算结果自行规划执行单元的运动轨迹.通过验证,该贴片机能够满足MEMS器件贴片的精度、速度和自动化的要求,可有效提高MEMS器件的生产质量,减少劳动强度,提高生产效率.为MEMS器件生产的自动化提供了解决方案,具有重要的经济效益.

关键词：MEMS器件、飞行视觉、器件基准的识别、运动控制

分类号：TP242(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37