超精密快刀伺服加工复杂光学面形的技术研究

摘要：

超精密快刀伺服加工技术适用于复杂面形光学零件的高效优质加工.文中通过分析快刀伺服加工的控制结构、压电陶瓷驱动性能,进行了超精密快刀伺服装置的设计与研制,建立了其传递函数模型.最后完成了典型复杂面形光学零件的加工试验,并对加工结果进行测试与分析,测试结果表明满足了设计的性能指标要求.

关键词：快刀伺服、复杂面形、压电陶瓷、传递函数

分类号：TH161

在线出版日期：2010-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：3-5