非接触式承片台流体动力学仿真分析

摘要：

介绍了一种伯努利原理非接触式承片台设计的新方法,即使用流体动力学软件对承片台的结构和性能进行分析,并详细叙述了承片台结构网格的划分方法.根据仿真结果对其结构进行改进设计,设计产品最终达到了良好的使用效果.

关键词：CFD技术、伯努利承片台、设计方法

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：78-79