10.3969/j.issn.1002-2333.2008.12.092
硅单晶炉副室清炉机构设计
为了解决现有硅单晶炉副炉室清理中存在的问题,提高清炉的效率,降低工人的劳动强度,设计了一种方便的清炉机构.该机构操作简单、方便、实用.
硅单晶炉、副炉室、副炉室清炉机构
TH12
2009-02-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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10.3969/j.issn.1002-2333.2008.12.092
硅单晶炉、副炉室、副炉室清炉机构
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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