10.3969/j.issn.1002-2333.2008.08.063
冰洲石晶体的化学机械抛光研究
针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺.在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试.结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果.
冰洲石、化学机械抛光、工艺技术、性能测试
O482.3(固体物理学)
2008-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
117-118
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10.3969/j.issn.1002-2333.2008.08.063
冰洲石、化学机械抛光、工艺技术、性能测试
O482.3(固体物理学)
2008-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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