基于AFM的压痕硬度自动检测算法的研究

摘要：

由纳米硬度计可测得载荷-压深曲线,并由原子力显微镜可以扫描得到压痕图.在对单晶硅压痕硬度的检测试验中,用Matlab软件对获得的数据进行处理,编制了利用压痕边长法、直接面积法、Oliver-Pharr法和压痕功法等计算压痕硬度方法的程序,可以自动计算压痕的面积和体积并计算得到单晶硅的硬度值.

关键词：原子力显微镜、压痕硬度、单晶硅

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46