10.3969/j.issn.1002-2333.2006.08.030
AFM工作台扫描控制电路的设计
在现有理论的基础上,设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路.介绍了该电路的设计思想,与现有的AFM控制系统相比,X、Y方向的运动采用闭环控制,提高了控制精度.文中还介绍了一种简单实用的PI调节电路,该电路具有结构简单、成本低、功耗小和控制精度高等优点.
AFM、扫描控制、闭环、PI
TH742(仪器、仪表)
2006-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
53-55