面向IC测试技术的精密运动平台的设计

摘要：

文中主要介绍了一个能用于IC测试设备的高速高精度的精密运动平台.该平台是芯片测试设备--全自动探针台关键部件,它可以实现X、Y、Z、θ四个方向的运动.对平台进行了整体结构设计和电气硬件搭建,并对其传动精度进行了校核计算.通过大量的实验分析其点对点控制的运动和定位精度,证明其精度和可靠性完全满足芯片测试的要求.

关键词：精密运动平台、滚珠丝杠、传动精度、定位误差

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2006-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54