10.3969/j.issn.1002-2333.2005.11.040
用于MEMS中的硅基材料微观摩擦磨损性能研究
利用原子力显微镜考察了Si(100)表面的粘附、摩擦磨损性能,试验考虑了外界湿度、循环扫描次数等因素的影响,并初步提出了解决方案.结果表明:在AFM摩擦试验中,压电陶瓷的滞后效应和非线性效应的影响比较显著;随着外界湿度的增加,湿度对Si(100)表面粘附力和摩擦系数有较大的影响;此外,外加载荷和扫描循环次数直接决定Si(100)表面的耐磨性能.
Si(100)基材、摩擦、磨损、微观性能
TP273.4(自动化技术及设备)
2005-12-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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