三坐标精密运动平台底座的设计

摘要：

在超精密加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点.文中以建成较大尺度三维结构的制造系统原型机为目标,进行了三坐标精密运动平台底座的设计工作,运用ANSYS软件完成了平台的静态变形和动态特性的分析,通过对平台的设计方案进行比较,完成了运动平台底座的设计.

关键词：工件台、有限元、超精密、纳米

分类号：TP391.7;TH122(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716204

在线出版日期：2005-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：21-22