10.3969/j.issn.1002-2333.2004.02.002
微细电火花加工及其关键技术
综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技术:微细电极的在线制作、微进给装置、微小能量的脉冲电源、微小电极的运动轨迹规划、电极的损耗及补偿策略.展望了微细电火花加工在微三维结构加工中的应用前景.
微细电火花加工、LIGA、微三维结构
TG661
2004-05-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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