减少阴极弧金属等离子体源液滴的技术措施

摘要：

液滴的存在并伴随着金属等离子体输运是阴极弧金属等离子体源的主要特性之一,液滴问题的严重性常常影响着阴极弧金属等离子体源广泛应用的可能性.文中针对如何减少液滴,提出了在阴极弧金属等离子体源物理和结构设计上采取的适当技术措施;然后在金属等离子体输运过程中,用正偏压的45°弯管(短磁导管)进行电磁过渡,使液滴减少到最少,使离子得到高效传输,最大限度地减少了液滴对被沉积薄膜性能的影响.

关键词：阴极弧金属等离子体源、液滴(宏观粒子)、电磁过滤

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2003-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：39-41