10.3969/j.issn.1002-2333.2003.03.023
压电驱动器在精密机械中的应用
介绍了压电驱动器的工作原理、特点及其位移性能.分别描述了压电驱动器在超精密测量、超精密定位、超精密加工及微型机械等方面的应用,并给出了具体的应用实例.
压电驱动器、精密机械、精密加工、微型机械系统
TP211.+5(自动化技术及设备)
北京市自然科学基金3032010
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
53-55
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10.3969/j.issn.1002-2333.2003.03.023
压电驱动器、精密机械、精密加工、微型机械系统
TP211.+5(自动化技术及设备)
北京市自然科学基金3032010
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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