微型机械的研究现状及其产业化分析

摘要：

微型机械是在微电子工艺的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,具有广阔的应用前景.文中分析了微型机械的研究发展现状,并对其市场前景进行预测.提出微型机械技术产品产业化是微技术发展的必然趋势,在我国实现微型机械的产业化具有一定的可行性和必要性.最后,对于产业化过程中的一些相关问题提出相应的对策.

关键词：微型机械、研究现状、产业化

分类号：T-1(工业技术现状与发展)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19