微细加工技术
微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法。在微机械研究领域中，微细加工是微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。广义上的微细加工，其方式十分丰富，几乎涉及现代特种加工、高能束加工等方式。而微机械制造过程又往往是多种加工方式的组合。 从基本加工类型看，微细加工可大致分四类：分离加工；接合加工；变形加工；材料处理或改性和热处理或表面改性等。微细加工技术曾广泛用于大规模集成电路的加工制作，正是借助于微细加工技术才使得众多的微电子器件及相关技术和产业蓬勃兴起。目前微细加工技术已逐渐被赋予更广泛的内容和更高的要求。微细加工技术已在特种新型器件、电子零件和电子装置、机械零件和装置、表面分析、材料改性等方面发挥日益重要的作用，特别是微机械研究和制作方面，微细加工技术已成为必不可少的基本环节。
微细加工技术、微机械研究、亚微米级、大规模集成电路、改性、微电子器件、装置、加工制作、制造过程、研究领域、相关技术、特种加工、能束加工、精细加工、加工类型、加工方式、加工方法、基本环节、机械零件、分离加工
TH1;TQ3
2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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