二十一世纪最具代表性技术——微机械
微机械在美国被称为微型电子机械系统(MEMS)，在日本被称为微机器，在欧洲被称为微系统。按外形尺寸特征，微机械可分成1～10mm的微小型机械、1μm～1 mm的微机械，以及1 nm～1 μm的纳米机械。微机械由于具有在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天、精密仪器、材料、生物医疗等领域有着广泛的应用潜力，并成为纳米技术研究的重要手段，受到世界各国的高度重视，被誉为20世纪大十关键技术之首，21世纪最具代表性的技术。 从微机械的加工方法来看，它具有体积小，精度高，重量轻、性能稳定、可靠性高、能耗低、灵敏性和工作效率高、多功能和智能化、适于大批量生产、制造成本低廉等特点。 微机械涉及的基本技术主要有：微机械设计；微机械材料；微细加工；集成技术；微装配和封接；微测量；微能源，微系统控制等。 随着微机械技术的深入发展，微机械的研究已经从基础研究阶段逐步跨入研制开发与实用阶段，许多微传感器、微执行器以及微光学部件已经在多种行业获得应用。国外也正在从微型机械电子系统向微型光电子机械系统方向扩展，从尺寸上向更微观的电子机械系统逼近。相信微纳米技术的不断发展一定会从微观角度给我们展现出一个全新的世界。
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TH1;TP2
2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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