自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统研究与开发

摘要：

介绍了自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统的硬件电路接口及监控软件的设计与实现技术.通过实验验证了控制系统的软、硬件设计符合测微仪的测量要求.

关键词：自聚焦伺服、激光测微仪、单片机控制系统、位移测量

分类号：TP274.5(自动化技术及设备)

资助基金：上海市自然科学基金资助项目95IE14036

在线出版日期：2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：50-51