利用MEVVA源的离子混合形成氮化钛薄膜

摘要：

研究采用了MEVVA源等离子体浸没离子注入的方法.利用钛的等离子体的沉积与自身离子的注入,形成IBAD效应.在氮气气氛环境下,在AISI304不锈钢表面获得了氮化钛膜.AES结果表明,由于钛的高电荷态和重离子效应使得钛与基体获得了较厚的原子混合层.

关键词：氮化钛、MEVVA源、等离子体浸没离子注入IBAD

分类号：TG172.44(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：10-11