磁控溅射不同元素掺杂WS2薄膜的组织和纳米压痕力学性能

摘要：

采用磁控溅射法在不同沉积压力(0.8,1.2Pa)下分别制备WS2薄膜、Ti/WS2复合薄膜和La-Ti/WS2复合薄膜,研究了薄膜的组织结构和纳米压痕力学性能.结果表明:WS2薄膜呈疏松多孔结构,晶粒粗大,孔洞较多,组织致密性差;与WS2薄膜相比,Ti/WS2复合薄膜的晶粒尺寸减小,组织变得致密,掺杂镧后薄膜的晶粒尺寸进一步减小,组织更致密;镧的掺杂还降低了薄膜中硫与钨的原子比,增加了硬质钨相的相对含量,提高了薄膜的硬度和变形抗力.

关键词：磁控溅射;WS2薄膜;镧掺杂;晶粒尺寸;纳米压痕力学性能

所属期刊栏目：44

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国防基础科研计划项目;河南省科技攻关项目

在线出版日期：2021-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-28,36