冶金提纯多晶硅用坩埚内壁氮化硅涂层的制备

摘要：

选用四种溶液与不同含量的氮化硅粉体混合得到不同的悬浊液，在石英坩埚内壁制备了氮化硅涂层，并将其用于冶金法提纯多晶硅；用扫描电镜、电子探针等分析了多晶硅铸锭与坩埚内壁的粘连面积、铸锭表面微裂纹形貌和反应层厚度，得到与最佳多晶硅铸锭脱模相对应的制备涂层的工艺参数，同时分析了熔炼过程中氮化硅涂层与硅熔体间的反应机制。结果表明：将含质量分数为8％聚乙烯吡咯烷酮的乙醇溶液和质量分数为60％氮化硅的悬浊液喷涂到坩埚内壁上，并经210℃×15min烧结后的氮化硅涂层不易分解，坩埚内壁保持完整，铸锭的脱模效果最好；随熔炼温度升高氮化硅涂层分解加剧，在涂层与硅铸锭的接触面处形成了由大颗粒氮化硅组成的连续层，减小了坩埚和涂层中杂质向硅铸锭内部扩散的可能性。

关键词：太阳能电池、多晶硅、氮化硅涂层、坩埚

所属期刊栏目：35

分类号：TF533.2(炼铁)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：8-12,75