磁控溅射制备碳/铬复合镀层的结构特征及自润滑性能

摘要：

采用非平衡磁控溅射技术在45钢片和单晶硅片上制备出自润滑碳/铬复合镀层;采用X射线光电子能谱仪检测镀层化学成分,用X射线衍射仪分析镀层相结构,用扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察镀层显微结构,用销一盘式摩擦磨损试验机研究镀层自润滑性能.结果表明:镀层相结构为非晶态,主要由碳和铬两种单质及其化合物组成;铬靶电流影响镀层显微结构,随着电流增加,镀层表面变得粗糙,颗粒间结合越来越紧密,镀层摩擦因数增大;铬靶电流为0.1A和0.3A时镀层有大量石墨相存在,具有良好的自润滑性能和承载能力.

关键词：磁控溅射、碳/铬复合镀层、自润滑性能

分类号：TB43;TH117.3(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50975229;国家"973"计划项目2009CB724406

在线出版日期：2011-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：40-43,48