17-4PH不锈钢表面TiO2膜及其多层膜的结构与性能

摘要：

利用非平衡磁控溅射技术在17-4PH不锈钢表面分别制备了TiO2膜、TiO2/Ti多层膜及TiO2/Ti/TiN/Ti多层膜,采用XRD、表面轮廓仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和水蒸气疲劳腐蚀试验设备研究了薄膜的物相、显微硬度、耐磨性和耐疲劳腐蚀性能.结果表明:具有表面薄膜17-4PH不锈钢的硬度、耐磨性和耐腐蚀性能均有较大提高;与TiO2膜和TiO2/Ti/TiN/Ti多层膜相比,TiO2/Ti多层膜耐磨性能最好,较基体的提高了20倍以上,同时其耐疲劳腐蚀性能也最好.

关键词：TiO2/Ti多层膜、TiO2膜、耐磨性、耐腐蚀性

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：教育部新世纪人才计划资助项目NCET-06-0800;四川省杰出青年学科带头人培养资助计划资助项目06ZQ026-015

在线出版日期：2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：53-56