磁控溅射制备不锈钢薄膜研究

摘要：

研究了磁控溅射镀膜工艺参数中溅射功率、溅射时间以及真空度等对不锈钢薄膜制备的影响,通过对获得的不锈钢薄膜层进行金相分析与其他性能测试发现:试验中溅射功率为100W、溅射时间为2h、真空度为0.08Pa、氩气压力为1.5MPa的条件下制得的薄膜性能最佳.

关键词：磁控溅射、薄膜、不锈钢

所属期刊栏目：28

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15