无机盐先驱体溶胶-凝胶法制备Al2O3薄膜的研究

摘要：

用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.

关键词：无机盐先驱体、溶胶-凝胶法、Al2O3薄膜、界面

所属期刊栏目：26

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50075048

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19