Ti/Ag及Ag薄膜的应力状态及其对摩擦学性能的影响

摘要：

制备了具有不同应力状态的Ti/Ag双层薄膜及Ag单层膜.考察了两类薄膜的内应力状态及其对薄膜摩擦学性能的影响.试验结果表明:薄膜的应力状态对其摩擦学性能可产生明显影响.Ti/Ag双层薄膜的应力变化及其对摩擦学性能的影响比单层膜更为复杂.可以通过控制Ti中间层的膜厚来得到有利于提高薄膜摩擦学性能的应力状态.

关键词：薄膜、应力、摩擦学性能

所属期刊栏目：26

分类号：TH117.1

资助基金：国家自然科学基金59805019

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,45