PVD NiAl化合物涂层的滑动磨损特性研究

摘要：

用射频磁控溅射法及一个由纯Ni和纯Al复合的特制靶材制备NiAl涂层,该涂层厚约10μm,硬度和弹性模量分别为11.52GPa和143.42GPa.研究表明,涂层的高硬度、低的表面粗糙度、较好的抗氧化性能及与基体之间良好的粘附性能是涂层具有良好耐磨性能的主要原因.

关键词：NiAl金属间化合物、涂层、射频磁控溅射、滑动磨损

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31