钯选择性电沉积过程控制方式

摘要：

因为吸氢严重,一般的沉积工艺得到的钯镀层上存在气孔、裂纹等缺陷.利用正交设计研究了钯选择性电沉积过程.发现在移动阳极的作用下,钯选择性电沉积中离子扩散速度加快,使控制步骤由一般电沉积的扩散和电化学联合控制转为主要由电化学控制.AFM观察表明,镀层没有出现裂纹和气孔,质量颇好.

关键词：钯、选择性电沉积、氢

所属期刊栏目：25

分类号：TQ153

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：8-9,15